超音波スピンドル  

industria より深く、より微細に本物の『超音波加工』が

微細加工を新たなステージへ。
「超音波スピンドル(R2)の特徴」動画

原理

より高い精度を求めていた方に朗報。
今お使いの機械にオーダーメイドすることも可能。
設計された振動を工具先端へ
従来型と違い工具の固定には、焼きばめチャックを採用、設計された振動を工具先端へ。
従来型の1/3のコンパクトサイズ
スピンドルの外径は、従来型の1/3と非常にコンパクト、あらゆる小型機械に取付可能。
従来型の2倍以上の高速回転
主軸の回転数は、従来型の2倍以上の高速回転が可能。
工具のたわみを抑制
高アスペクト比の小径工具を用いた、転削加工時(切削、研削など)の問題点となる、工具のたわみを抑制。
高精度・超精密な微細加工
半導体用途のセラミックスなどの高脆材、微細形状金型などの超硬部材に対する微細・高精度および高能率切削・研削加工に有効。
n:回転数
f:周波数
a:振幅
超音波スピンドル内部の構造
超音波スピンドルは、新しい加工技術のニーズにお応えします。


仕様


  超音波スピンドル
          R2 Unit

仕様
型式  R2
振動方向
縦振動(工具軸方向)
超音波周波数
約40 kHz ※1
振幅(0-p)
0-2 μm ※1
回転速度
5,000-20,000min-1
駆動電源
AC100V50/60
(モータユニット,超音波発振器)
供給空気圧力※2
0.1 MPa (モータ用)
0.05 MPa (冷却用)  
※1 仕様によって異なります。
※2 クリーンなドライエアー。
高さ 280mm
直径 φ56mm
高さ 280mm
直径 φ45mm



加工事例


 Technical Data 1  長いボールエンドミルによる溝加工

工具(刃数) TiAlNコーティング深リブ用超硬ボールエンドミル(2枚刃)
ボール半径R=0.1mm , 工具長L=3mm


 加工深さ:0.1mm 
 Depth of Cut

回転数
Spindle Speed
20,000min-1
被削材
Work Material
NAK55
(40HRC)
送り速度
Feed
100mm/min
切込み量
Depth of Cut
0.005mm
(Ad)
クーラント
Coolant
オイルミスト
Oil Mist
超音波周波数
Ultrasonic Frequency
40kHz
振幅(0-p)
Amplitude
1μm

1mm



 Technical Data 2  長い電着工具による溝加工


工具: ダイヤモンド砥粒電着砥石
ボール半径R=0.1mm , 工具長L=0.5mm


 加工深さ:0.1mm 
 Depth of Cut

回転数
Spindle Speed
20,000min-1
被削材
Work Material
ガラス
glass
送り速度
Feed
100mm/min
(Ad)
切込み量
Depth of Cut
0.002mm
クーラント
Coolant
水溶性
Water Oil
超音波周波数
Ultrasonic Frequency
40kHz
振幅(0-p)
Amplitude
1μm

溝加工 振動無 溝加工 振動有
振動無 振動有
振動有
0.5mm 0.5mm



 Technical Data 3  長いドリルでの穴加工


工具: マイクロドリル
直径 D=0.1mm
工具長 L=1.0mm

傾斜角 10°
ステップ量 20μm 10μm

振動無
振動有
0.1mm


 加工深さ:0.1mm 
 Depth of Cut

回転数
Spindle Speed
20,000min-1
被削材
Work Material
NAK55
(40HRC)
送り速度
Feed
20mm/min
ステップ量
Step Feed
10 , 20μm
クーラント
Coolant
オイルミスト
Oil Mist
超音波周波数
Ultrasonic Frequency
40kHz
振幅(0-p)
Amplitude
1μm



工具 ダイヤコーティングドリル
直径 D=0.15mm
工具長 L=1.5mm

0.1mm

 加工深さ:0.1mm 
 Depth of Cut

回転数
Spindle Speed
20,000min-1
被削材
Work Material
セラミックス
Ceramics
送り速度
Feed
10mm/min
ステップ量
Step Feed
10μm
クーラント
Coolant

Water
超音波周波数
Ultrasonic Frequency
40kHz
振幅(0-p)
Amplitude
1μm





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